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激光刻蝕設備在鈣鈦礦電池中的應用

發布時間：2018-06-14 來源：元祿光電

清潔能源一直以來都是國民關注的熱點，利用光能的研究各個國家備受的關注，而作為清潔能源中的光伏太陽能行業發展勢頭迅猛，截止2015年底，全球太陽能發電裝機累計達到2．3億千瓦，其技術發展也不斷在提升，為提升在光電轉換效率而不懈努力。在光伏太陽能電池行業里鈣鈦礦電池22.1%的光電效率勢必會引起新一輪的爆發，對鈣鈦礦電池的激光刻蝕工藝也將會成為新一輪的爆發。

鈣鈦礦電池的基層是玻璃，上面度有FTO，雙層氧化物和碳粉，需要采用激光技術對上面三層材料進行剝離刻蝕，并且不傷及FTO。

鈣鈦礦電池

傳統的紅外光纖激光刻蝕技術和綠光激光刻蝕技術對其進行P1，P2，P3劃線，而鈣鈦礦電池中存在的問題是FTO對光纖激光或者綠光的吸收比較好，如果想要完全不傷及FTO則無法有效的將雙層氧化物蝕刻掉，或者是造成殘留無法達到阻值要求。如果滿足對上面三層物質的去處并形成電阻值則會對FTO造成損傷，影響光電轉換效率。因而在鈣鈦礦電池激光刻蝕上必須尋求新的工藝解決方案。

新的工藝解決方案里就要求材料對光的吸收要好，并且能夠控制加工的熱影響，不會形成熔渣造成阻塞，保證刻蝕的線寬形成有效的阻值。元祿光電為了解決這種鈣鈦礦電池劃線的需求，采用了飛秒激光設備對其進行激光刻蝕。優點在于加工時間短，接觸時間短，熱影響小，帶脈沖能量高，能夠瞬間刻蝕掉材料，并且不會對基層FTO造成損傷，能夠滿足鈣鈦礦電池激光刻蝕的要求。

鈣鈦礦電池目前成為光伏行業內的新寵，但大多也都停留在研發實驗室階段，想要走出實驗室走向市場化的路也不會遠。而在批量生產加工也勢必離不開激光設備。